12月9日,湖北兴福电子材料股份有限公司发布公告,以4626.78万元收购湖北三峡实验室重大科技成果“光刻胶用光引发剂制备专有技术及实验设备所有权”。这项半导体领域关键技术走向市场后,将打破该材料长期被境外企业垄断的局面。

此次转让的成果G/I线光刻胶用光引发剂的关键技术,主要用于芯片和显示领域。光刻胶是芯片制造中不可或缺的材料之一,而光引发剂对其感光度和分辨率起决定性作用。目前,在国产芯片和显示领域,光刻胶用光引发剂几乎全部依赖美日韩进口。

这次研发创新是由市场需求倒逼产生的。许多半导体客户表示,因光引发剂遭遇限购和断供,国产光刻胶多次被“卡脖子”,给国内半导体产业链的生产带来极大压力。兴福电子希望切入光引发剂产业赛道,但从零开始的研发风险令企业犹豫不决。于是,他们找到了三峡实验室寻求帮助。

面对企业的委托研发意向,三峡实验室迅速响应,开展光引发剂关键技术的攻关。经过三年的努力,今年5月,上海一家光刻胶龙头企业反馈称,送样各项指标与国外进口厂商达到同一水平。随后,中试样品在多家光刻胶企业都通过了初轮验证,相关技术终于具备产业化条件。
该成果已进入产业化前期阶段,投产后将成为湖北第一条光刻胶用光引发剂生产线,对我国光刻胶产业发展将起到积极作用。

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