工信部公开推广两款国产DUV光刻机 自主技术新突破

工信部公开推广两款国产DUV光刻机

在当今科技时代，芯片如同信息时代的驱动核心，其重要性无需赘言。长久以来，我国在芯片领域面临西方国家的重重制约，无论是技术获取、设备引进，还是零部件采购，均受限颇多。尤其在光刻机——这一芯片制造关键技术设备上，以美国为首的西方势力将其作为遏制我国发展的关键杠杆。

回忆过往，媒体曾披露美国私下联合日本、荷兰，形成秘密协议，联手压制中国半导体产业发展。在这场行动中，荷兰的阿斯麦公司扮演了急先锋角色。作为全球光刻机市场的领军者，我国一度高度依赖其技术。但在美国持续施压下，阿斯麦不仅减少了与我国的交易，更对尖端的极紫外光刻机实施了对华禁售，这是美国霸权行径的直接体现。彼时，我国尚不具备自主研发光刻机的能力，只能无奈接受这种不公。

然而，一味的容忍并未换来理解，反而招致对方变本加厉的打压。2023年9月6日，在美国的推动下，荷兰政府宣布扩大光刻机出口管制，连浸没式深紫外光刻设备也列入限制名单。这一举措与美国同年10月更新的芯片技术出口管制政策如出一辙，显而易见，这是美国幕后操纵的结果。

此番限制无疑对我国产生重大影响，因我国当前对荷兰光刻机仍存较高依赖。正当美国自以为得逞之时，我国迅速反击。9月9日，工信部低调公布了2024年首台（套）重大技术装备目录，其中包括氟化氪光刻机（110nm）和氟化氩光刻机（65nm），标志着我国首次公开宣布突破自主DUV光刻机技术。